仪器简介：

阴极射线发光光谱仪配合客户扫描电镜SEM，可以获得高空间分辨率和光谱分辨率的样品表面形貌信息，无论是从大块样品到纳米结构样品，CL都是作为无损材料表征最有力的技术之一。

HORIBA阴极射线发光光谱仪基于反射光路模块化设计，在诸多应用中都能提供最佳的信号探测灵敏度，无需特别制备样品，在使用电镜扫描的同时，可以实现结构分析。

特点：

· 模块化设计可以直接在电镜上加装阴极射线发光光谱仪

· 针对不同测试要求，提供相应辅助附件

· 反射光路设计使得信号收集可以达到最大化，减少信号衰减

· CCD扫描使用SWIFT模式可以10倍速度得到mapping数据

· 全部实现软件控制操作

技术参数：